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晶圓激光切割保護液怎么使用-羽杰科技


晶圓激光切割保護液-羽杰科技

? ? ? 羽杰科技:激光切割半導(dǎo)體晶圓具有切槽窄、非接觸式加工和加工速度快等特點,但仍然存在材料重凝、熱影響區(qū)較大和易產(chǎn)生裂紋等問題.為了解決這些問題切割保護液這一關(guān)鍵角色不可或缺,那么晶圓激光切割保護液怎么使用?


使用方法:

? ? ? 先將羽杰晶圓激光保護液以噴涂或是涂布的方式,均勻的分布在晶圓(LED或半導(dǎo)體)等工件表面,再進行激光加工作業(yè)。

注意事項:未使用完的保護液須將桶蓋擰緊,避免水分、油質(zhì)、灰塵混入,影響加工品質(zhì)。


? ? ?在半導(dǎo)體制造的舞臺上,晶圓激光切割保護液這一關(guān)鍵角色不可或缺。它的存在,讓晶圓順利轉(zhuǎn)變?yōu)樾酒恳徊蕉急M顯精湛。晶圓切割保護液的輔助,不僅提高了切割效率,更在細節(jié)之處確保了芯片的質(zhì)量,減少了損傷,從而有效提升了產(chǎn)量。 為了實現(xiàn)這一目標,通常采用在芯片正面劃開一個豁口的方式,然后利用劈刀頂開自動劈裂。同時,必須保證劈裂方向完全沿著晶向方向展開,否則如果劈裂角度出現(xiàn)偏差,端面可能會出現(xiàn)不光滑或破裂的現(xiàn)象。 此外,對于激光器的晶圓也需要進行薄化處理,因為太厚的晶圓會導(dǎo)致電阻過大,進而使得cell被解離出來。在完成劈裂過程后,再進行擴膜處理,這樣一顆一顆的芯片便完成了。

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